北京北方华创微电子装备有限公司

北京北方华创微电子装备有限公司（002371.SZ 简称：北方华创）起源于中国电子工业的摇篮酒仙桥电子城，距今已有七十余年的历史传承，目前已成为国内领先的半导体装备制造与服务商。

北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜、炉管、清洗等高端半导体工艺装备，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等领域。公司拥有9个研发与制造基地，29个服务中心，覆盖欧、美、亚主要国家和地区。

北方华创致力于成为半导体基础产品领域值得信赖的引领者，始终以客户需求为导向，持续创新，依托精良的品质及卓越的服务，与全球伙伴深度合作，打造高端电子工艺装备技术、产品、服务一体化的专业解决方案平台，推动产业进步，创造无限可能！

等离子刻蚀设备

等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术，由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于半导体基础产品制造领域。   
凭借在等离子体控制、反应腔室设计、刻蚀工艺技术、软件技术的积累与创新，北方华创在集成电路、功率半导体、化合物半导体、半导体照明、微机电系统、先进封装等领域均可提供先进的装备及工艺解决方案。北方华创现已形成对刻蚀工艺的全覆盖，具有对硅、深硅、金属、介质、化合物半导体（SiC, GaN, GaAs, InP, LiNbO₃, LiTaO₃等）等多种材料的刻蚀能力，凭借优良的工艺性能成为客户的优选。