华海清科、华海清科取得晶圆清洗装置相关专利，晶圆水平清洗装置可及时排废液防腐蚀及液珠凝聚

来源：新浪证券-红岸工作室

6月3日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司、华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆水平清洗装置”的专利，授权公告号CN117943332B，授权公告日为2026年5月29日。申请公布号为CN117943332A，申请号为CN202410172121.8，申请公布日期为2026年5月29日，申请日期为2024年2月7日，发明人徐俊成、刘福生、刘丰迪，分类号B08B3/02、B08B3/08、B08B13/00、B25B11/00、H10P72/00。

专利摘要显示，本申请实施例提供了一种晶圆水平清洗装置，包括夹持盘、动力组件和背喷组件，夹持盘用于水平夹持晶圆，夹持盘的中心区域开设有清洗孔；动力组件位于夹持盘的下方，动力组件的输出轴的端部穿设于清洗孔，输出轴为中空管件且与清洗孔连通；背喷组件设置于输出轴的内部，背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，背喷组件的外周面与输出轴的内壁面之间具有第一间隙，第一间隙与清洗孔连通，以将清洗废液经由第一间隙排出。根据本发明实施例的一种晶圆水平清洗装置，可以将废液通过第一间隙及时排出，有效的防止废液腐蚀其它结构件，并且可以防止废液堆积导致晶圆背面有液珠凝聚，影响工艺效果。

天眼查数据显示，华海清科（北京）科技有限公司成立日期2019年3月1日，法定代表人刘福生，所属行业为科技推广和应用服务业，企业规模为中型，注册资本15000万人民币，实缴资本15000万人民币，注册地址为北京市北京经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室。华海清科（北京）科技有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目86次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息132条，拥有行政许可9个。

华海清科成立于2013年4月10日，于2022年6月8日在上海证券交易所上市，注册地和办公地均为天津市。它是国内半导体CMP设备龙头，打破国外技术垄断，填补国内空白，具备显著技术壁垒。

华海清科主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及半导体设备、中芯国际概念、第三代半导体等概念板块。

2025年，华海清科营业收入达46.48亿元，在25家公司中排名第7，高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元，但与第一名北方华创393.53亿元、第二名中微公司123.85亿元有差距。主营业务中，半导体装备40.54亿元，占比87.22%；半导体服务5.94亿元，占比12.78%。净利润方面，2025年为10.83亿元，行业排名第5，高于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元，不过与第一名北方华创54.09亿元、第二名中微公司20.64亿元仍有距离。